Ждём Ваших отзывов о материале.

Соблюдение Правил конференции строго обязательно!
Флуд, флейм и оффтоп преследуются по всей строгости закона!
За статью можно проголосовать на странице материала.

Напоминаем о том, что на сообщения новых участников распространяется действие системы премодерации сообщений.

О нарушениях можно сообщить модератору, нажав синюю кнопку #77 справа над спорным сообщением.

Вопрос дилетанта: а параллельно поставить N лазеров - не катит?

Кажись давно уже не катит.

9 баб в ряд поставь - пусть ребенка за месяц родят

Это - глупость по определению. А параллельное соединение устройств для получения большей мощности сплошь и рядом: транзюки в параллель, нагреватели в параллель, лампочки в параллель, моторы - и те в параллель можно. И везде результат умножается на кол-во - ну, хотя бы ±.

jason32
Это неверная аналогия. Вот если бы вопрос был про ускорение обработки одной пластины, то было бы оно.

Т.е. взяв больше кухонных ножей вы сможете тоньше нарезать хлеб? А связкой бензопил можно хирургические операции на каппилярах глаза проводить?

ну так зеркально отразив маломощные источники (в точку) можно получить излучение большей мощности в соответствующей точке , разве нет ?

нет. Невозможно отразить в точку. Отражение будет в пятно. А смысл EUV как раз в точности.

Не всё так просто. Вообще, начнем с того, что проблема мощного лазера это следствие других проблем этого типа литографии.
Лазер бьёт в мишень (струя газа), и получается целый спектр длин волн, из которого нужно только 13.5 нм.
Значит остальное надо отсеять светофильтрами. Это потери.
Потом нужно это излучение куда-то направить. Это можно сделать только с помощью зеркал, т.к. линзы (и не только они) поглощают излучение с длиной волны 13.5 нм.
Каждое зеркало отражает далеко не 100% излучения, а хорошо если 70. Остальное поглощается. И зеркало там не одно, а где-то от 6 до 12. Это большие потери. Например для 10 зеркал -> 0.7^10=0.03 => Поглотилось 97% излучения.
Кроме того, зеркала имеют плохое свойство разрушаться под действием излучения. Так что увеличив мощность лазера, зеркала будут разрушаться еще быстрее. И еще позиционирование всей этой штуки - нужна точность. Так что второй лазер сюда ну никак не вписывается, с одним и так куча проблем.

В точку можно. Только какой в этом будет смысл? суть литографии в том, что лазер выжигает строго определенные места соответственно шаблону. И невозможно иначе выжечь - просто потому что величины малы и невозможно сделать такое позиционирование подвижных лазера/зеркал, которое соответствовало бы нужной точности - слишком уж механика громоздка.
насчет "ваттности" лазеров - от этого зависит за какое время лазер выжжет при помощи шаблона заготовку на нужную глубину.

Невозможно. Даже теоретически. Принцип неопределенности Гейзенберга.

Возьмите лист картона. Сделайте в нём дырку.Это наш шаблон. С одной стороны поместите источник света. Это наш лазер.
С другой стороны поместите другой лист картона, это наша заготовка.
Не двигая шаблон и заготовку перемещайте источник света. Наблюдайте за изменением освещения заготовки.
Теперь понятно почему источник света должен быть точкой?

Какая то плохая аллигория. Я бы тут применил пример с фрезерованием. Свет, идущий под углом, выжигает тоже под углом углубление. А если фокусировать несколько лазеров под углом, то от глубины будет меняться фокусировка. В общем куча логического бреда.

Так зачем тоньше-то? Если есть два сканера - какой смысл пытаться приспосабливать их к совместной обработке одной пластины, когда задача - скорость повысить? Пусть разные обрабатывают. Кто больше нарежет хлеба - один человек или двое той же квалификации?

Только и оборудования понадобиться больше, и площадей и зарплаты.
Во сколько там раз медленнее получается? в 4?
Представьте, что следующее поколение процессоров будет в 4 раза дороже. Кто будет их покупать?

Если они будут в 4 раза быстрее, то их будут покупать все.

Переход на 450мм пластины решит проблему производительности.

Покажите мне когда за последние десятилетия 2 соседних поколения отличались по производительности в 4 раза.

Не решит. Уже сколько раз переходили на большие пластины. Это помогает, но полностью проблему не решает.

Не понял, про какой газ речь? Откуда спектр? Лазер на то и лазер, что он монохромный - или я уже так сильно отстал от технологий, что лазеры стали "белый" свет давать.