Garry1010
Нет такого лазера, который мог бы сразу дать конечные 13.5 нм.
Но, с помощью лазера можно получить излучение с такой длинной волны.
Для того, чтобы это сделать, берут сверхзвуковую струю инертного газа (например ксенон), в который бьют лазерным излучением.
Удар лазера вызывает интенсивное разрушение молекул газа, в результате которого газ переходит в плазменное состояние. Именно эта плазма является источником излучения, но там есть не только нужные 13.5 нм, а еще и куча других длин волн, которые надо убрать, светофильтрами и т.д.
Можно и не только газ использовать, существуют и металлические мишени.

То есть там лазерным светом уже и не пахнет? Ну, тогда понятно, почему народ не хочет уходить со 193 нм (или сколько там). Я-то думал, что эта хрень сразу даёт 13.5.

Деваться им всем всёравно некуда , согласно формуле Гельмгольца, надо либо увеличивать показатель преломления среды, что в иммерсионной литографии уже сделано до предела, и увеличивать уже некуда (тупо не существуют среды с бОльшим n, подходящей для литографии), либо уменьшать длину волны. ЭУФ как раз позволил уменьшить длину волны, правда литография дорогая и геморройная.