Соблюдение Правил конференции строго обязательно! Флуд, флейм и оффтоп преследуются по всей строгости закона! За статью можно проголосовать на странице материала.
Member
Статус: Не в сети Регистрация: 14.09.2012 Откуда: Киев
EUV оборудование будет очень дорогое. Тут как раз выгодно совмещать использование 450 мм пластин с новыми сканерами, чтобы компенсировать стоимость оборудования за счёт увеличения пропускной способности в плане площади.
Цитата:
в ASML рассматривают варианты двойной и тройной проекции для 7-нм уровня и 3-нм.
Корректнее будет использовать термин "экспонирование".
_________________ Статьи в Персональных Страницах: - Особенности перехода с 300 мм на 450 мм пластины (2012.09.30)
Последний раз редактировалось PsiAmp 20.02.2013 12:49, всего редактировалось 1 раз.
Member
Статус: Не в сети Регистрация: 12.04.2010 Откуда: Питер Фото: 7
Эх... Дождемся-ли мы домашних, квантовых процессоров при нашей жизни? Бесконечная оптимизация "под кремний" - все-же не то... 3нм. - это вообще знатный адок А дальше что? 1нм? Не малова-то будет?)) Транзисторы из нескольких атомов? (или сколько их там будет, при таком техпроцессе)
Member
Статус: Не в сети Регистрация: 14.06.2010 Откуда: Сыктывкар Фото: 0
PsiAmp писал(а):
Тут как раз выгодно совмещать использование 450 мм пластин с новыми сканерами, чтобы компенсировать стоимость оборудования за счёт увеличения пропускной способности в плане площади.
Лолшто? В новости же написано что у новых сканеров пропускная способность по обработке пластин гораздо ниже...
Member
Статус: Не в сети Регистрация: 14.09.2012 Откуда: Киев
REALpredatoR писал(а):
Лолшто? В новости же написано что у новых сканеров пропускная способность по обработке пластин гораздо ниже...
Большие пластины это скомпенсируют в какой-то степени. Многие этапы литографического процесса занимают практически одно и то же время, вне зависимости от размера пластины.
Утрируя: чем больше сковородка, тем быстрее семья наестся блинами.
_________________ Статьи в Персональных Страницах: - Особенности перехода с 300 мм на 450 мм пластины (2012.09.30)
Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и гости: 26
Вы не можете начинать темы Вы не можете отвечать на сообщения Вы не можете редактировать свои сообщения Вы не можете удалять свои сообщения Вы не можете добавлять вложения