Ждём Ваших отзывов о материале.

Соблюдение Правил конференции строго обязательно!
Флуд, флейм и оффтоп преследуются по всей строгости закона!
За статью можно проголосовать на странице материала.

Сканеры то сейчас 193 нм, а не 197..

В данном случае разница не имеет значения. Хотя в названии в сканеров сохранили цифру 197.

Почему их называют сканерами?
Почему сегодняшние сканеры аж 193\197 нм при 14нм литографии?

да давно известно что после 40 нм пошел сплошной маркетинг, а не физика...

Засветка не одномоментная, поэтому сканеры. Чтобы уменьшить размер элемента до минимального шага (14 нм), используют последовательно несколько фотошаблонов, дополнительно опускают оптику в жидкость, чтобы увеличить преломление, плюс много других ухищрений.

Главное "ухищрение" - делать не абы-какие (оптимизируя разводку), а периодически-однообразные "картинки" (оптимизируя дифракционные эффекты).

А не наоборот?

Потому что в массовом фотолитографическом производстве
до сих пор используются эксимерные лазеры на ArF на 193 нм:
https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%AD%D0%BA%D1%81%D0%B8%D0%BC%D0%B5%D1%80%D0%BD%D1%8B%D0%B9_%D0%BB%D0%B0%D0%B7%D0%B5%D1%80