Ждём Ваших отзывов о материале.

Соблюдение Правил конференции строго обязательно!
Флуд, флейм и оффтоп преследуются по всей строгости закона!
За статью можно проголосовать на странице материала.

Напоминаем о том, что на сообщения новых участников распространяется действие системы премодерации сообщений.

О нарушениях можно сообщить модератору, нажав синюю кнопку #77 справа над спорным сообщением.

не совсем понятно, как при длине волны лазера равной 13,5 нм будет отрисовываться деталь размером 7 нм. Или опять маркетинг?

Точно так же, как отрисовывается 7-нм деталь 193-нм лазером, только с меньшим числом циклов. С помощью перекрытия шаблонов и нескольких этапов травления.

Также как и разрешение микроскопа составляет половину длины волны от минимальной границы используемого диапазона и также как радиоантенна должна иметь длину хотя бы в четверть длины волны принимаемых волн.

Есть в интернете статьи на эту тему, можешь погуглить